FLUKE 高效標定超高純度壓力感知器解決方案

超高純度（UHP）壓力感測器被廣泛應用於半導體、光伏產業的特氣輸配送系統中，是半導體、光伏廠務供氣特氣櫃、製程設備配氣櫃中的關鍵零件之一。

區別於一般的壓力感測器，UHP 壓力感測器有以下幾個比較關鍵的特點：

•  比較寬的量程範圍需求，需要涵蓋機台端 25~50psi 絕壓量程、氣路分配箱 100~250psi 絕壓或複合壓量程以及特氣櫃 250psi、3000~5000psi 絕壓或複合壓的應用。

•  潔淨生產過程的需求，需要在全量程範圍內使用高純度氮氣進行標定或校正，避免污染感測器的接液部件，以便於後續的潔淨包裝處理。

•  高精度標定需求，通常 UHP 壓力感測器的精度指標要達到 ±0.2/0.25%FS，需要一套精度足夠高的標定/校正系統進行線性標定。

•  低溫漂補償需求，UHP 壓力感知器需要更可靠的溫補以滿足在經歷吹掃過程時不出現零點溫漂現象。

FLUKE 8270A 模組化氣體壓力控制器，擁有寬範圍、多量程、高精度氣壓控制的特性，控壓範圍從真空至 44MPa（6600psi），具有 0.01%FS 或 0.007%Rdg 測壓精度、0.002%FS 高達壓測精度，既能同時壓力感測器的標定或校正，協助感測器生產企業建構低成本、高效率的柔性化感測器標定/溫補系統，實現小批量、多量程按需精實生產的目標。

這裡，我們以標定 100psi、250psi、5000psi 三個量程的 UHP 壓力感測器為例，只需一台 8270A 搭配 6000psi 和 300psi 兩個量程的測壓模組，即能標定上述三個量程 UHP 壓力感測器，且標定係統的精度優於對應量程的 0.03%。

同時，透過 8270A 主機整合的電磁閥驅動器控制三通道電磁閥開或閉，實現三個量程的感測器在烘箱的一次升降溫過程中實現多量程混合標定。

標定 100psi 量程，三通道電磁閥均打開，8270A 自動選擇 300psi 量程模組進行控壓、穩壓。

標定 250psi 量程，上通道電磁閥關閉，8270A 仍舊使用 300psi 量程模組進行控壓、穩壓。

標定 5000psi 量程，僅下通道電磁閥打開，8270A 自動切換為 6000psi 量程模組進行控壓、穩壓。